1. 工作条件：

（1）电压：230V (-6%, +10%)

（2）环境温度：20°C (+/- 3°C)

（3）相对湿度： < 80% RH

2. 技术性能指标：

（1）结构形式: 单室、卧式、侧开门

（2）有效炉体尺寸:  ¢1700×2400 (直径×长度)mm

（3）极限真空度(空炉、冷态): 1 Pa （0.01mbar）

（4）工作真空度: 10000～50000Pa （100～500mbar）

（5）入口气体总量：≤1500 SLPM

（6）真空仓内下部设有试样用工作转台。

（7）真空系统控制方式: 手动控制

（8）真空测量: 微机型、数显压力扩散硅真空计可实现从大气压至极限真空的全量程数字定量精确测量